我的深圳故事|这位科学家,屡屡攻克多项“卡脖子技术”
2025-05-08 17:50
来源: 深圳新闻网
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我的深圳故事|这位科学家,屡屡攻克多项“卡脖子技术”

深圳新闻网2025年5月8日讯(记者 曾毅伟)近日,2025年广东省庆祝“五一”国际劳动节暨劳动模范、先进工作者和先进集体表彰大会在广州举行。深圳中科飞测科技股份有限公司(以下简称“中科飞测”)研发总监、首席科学家黄有为当选2025年广东省劳动模范。作为国内半导体晶圆检测行业的龙头企业,中科飞测以黄有为博士为首的科研团队攻坚克难,屡屡创造行业奇迹,攻克多项国外“卡脖子技术”,打破国外企业的垄断局面。

学成报国,投身时代洪流

2010年,黄有为毕业于北京理工大学光学工程博士专业。彼时,国内半导体行业发展遭遇瓶颈期,远远落后于国际水平,国家开始在光刻机领域积极攻关布局,设立重大专项。在这一背景下,他毅然决然地投身半导体行业,加入清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室从事博士后研究工作,参与国产光刻机的研发工作。

从清华大学博士后出站后,黄有为加入了中国科学院微电子研究所,担任助理研究员。这一期间,他对国际半导体行业发展的形势、半导体集成电路装备有了更深入的理解和认知,逐渐奠定了自身的理论与技术的基础。

2016年,黄有为加入中科飞测公司,担任SPURCE团队负责人。此时,他在业内已是小有名气的科学家,而中科飞测刚处于起步阶段。“当时的(中科)飞测公司在微电子研究所旁边的一栋居民楼里,只有200㎡左右,里面环境特别差,来面试的毕业生还以为进了传销组织。”谈及自己的这一选择,黄有为显得异常坚定,“虽然条件艰苦,但是在这工作的每一个人都很有热情,大家始终抱着攻坚克难的决心,一定要研制出国产的半导体晶圆检测设备。这也是我加入(中科)飞测公司的一个重要原因。”

在黄有为的带领下,2017年,中科飞测SPURCE团队研制出了国内首台面向90-65nm节点的SPRUCE-600无图形晶圆表面检测设备,满足国内相应节点半导体制造企业的需求,实现了国产无图形晶圆光学检测设备从无到有的突破。

面对困境,大胆跳代研发

中科飞测历经十年发展,掌握了多项长期被国外企业垄断的“卡脖子技术”。以激光扫描与成像探测技术为例,要求在直径300毫米的晶圆上,实现一分钟之内对十几纳米级别的缺陷进行完整的扫描与检测。

谈及这项技术,黄有为举了个十分形象的例子,“这就相当于在深圳2000平方公里的土地上,一分钟之内检测出所有和足球一般大小的缺陷,而且要分清楚检测的是篮球还是足球。”而这些核心技术形成的背后,隐藏着一个曾经改变公司走向的大胆决定。

2017年,在研制出了首代国产无图形晶圆表面检测设备后,黄有为面临着一个两难抉择。是按部就班继续研制第二代设备,还是对标国际顶尖水平,直接研制最先进的第四代设备?经过深思熟虑后,黄有为做出了一个令人意外的选择:直接研制最先进的第四代设备。

“跨代研发所面临的风险是巨大的,无论是技术还是资金,稍有不慎,可能数年的努力都会前功尽弃。但是,如果不跨代,我们永远都会跟在别人身后,始终无法满足最前沿的市场、客户的需求,所以,这个代再难跨,我们也必须跨过去。”黄有为谈道。

功夫不负有心人,最终,黄有为团队仅用三年时间,就实现了从90nm到14nm多个工艺节点的跨越式发展。如今,中科飞测已在上海证券交易所科创板上市,公司生产的半导体检测设备出货量超过1000台,产品覆盖国内超100家客户,市场份额跃居全球第二,俨然迈向国际顶尖水平。

政策扶持,行业前景光明

近年来,中科飞测积极招贤纳士,每年研发人员的增长率超过30%,为行业、国家培养了诸多优秀的后备人才。这一优异数据的背后,离不开深圳市、龙华区的多项政策支持。

“自从中科飞测落地龙华区以来,市里和区里都给予了各方面的支持与服务。尤其是人才方面,例如龙华区的‘龙舞华章计划’,为我们留住人才提供了重要的支持和保障。”黄有为说道。

随着越来越多的青年才干的加入,国内半导体领域呈现出蓬勃的发展态势。谈及对行业未来发展的看法,黄有为引用了一句名言:前途是光明的,道路是曲折的。

“大家都知道芯片对我们生活产生的影响是覆盖方方面面的,国外的芯片在某些领域仍有一定的技术优势。但这些仅存的技术优势又能持续多久呢?如今国内半导体行业发展的速度是十分惊人的,我有信心在3-5年内对国外垄断企业进行追赶,在5-10年内实现超越,这不仅是我的底气,也是中国半导体的底气。”黄有为坚定地说道。

就在5月6日,中科飞测发布了明场纳米图形晶圆缺陷检测设备REDWOOD-900。据悉,这款设备制作的难度和复杂度仅次于光刻机,被称为半导体检测装备的皇冠上的明珠。

[编辑:彭桂红 陈苏雅] [责任编辑:单铭捷]